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壓力傳感器在汽車上使用很廣泛
時(shí)間: 2022-07-07 15:08:19 瀏覽次數(shù)：
壓力傳感器在汽車上的應(yīng)用
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來(lái)，本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，然后介紹基于MEMS技術(shù)應(yīng)用于汽車的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應(yīng)工作的壓阻元件。所謂壓阻元件，實(shí)際上是指集成電路工藝在半導(dǎo)體材料襯底上形成的分散電阻。當(dāng)它受到外力作用時(shí)，其電阻值會(huì)隨著電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時(shí)需要附著在彈性元件上，常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局，封裝在殼體內(nèi)。在圓形單晶硅膜片上，插入四個(gè)分布式電阻，兩個(gè)在壓應(yīng)力區(qū)，另兩個(gè)在拉應(yīng)力區(qū)。它們組成了一個(gè)全橋測(cè)量電路。硅膜片固定有圓形硅杯，兩側(cè)有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)是與被測(cè)壓力連續(xù)的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，與參考?jí)毫ο噙B，參考?jí)毫νǔＥc壓力大氣相同。當(dāng)有壓差時(shí)，膜片變形，使兩對(duì)電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側(cè)所承受的壓力差。
目前，壓力傳感器是一種典型的汽車傳感器，在汽車上得到了廣泛的應(yīng)用。隨后被廣泛應(yīng)用于高壓場(chǎng)所，如懸浮壓力檢測(cè)、空調(diào)制冷壓力檢測(cè)等?，F(xiàn)在，壓力傳感器進(jìn)一步擴(kuò)展到高壓場(chǎng)所，如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統(tǒng)。可見，壓力傳感器在汽車領(lǐng)域有著廣闊的發(fā)展前景。
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來(lái)，本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，然后介紹基于MEMS技術(shù)應(yīng)用于汽車的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應(yīng)工作的壓阻元件。所謂壓阻元件，實(shí)際上是指集成電路工藝在半導(dǎo)體材料襯底上形成的分散電阻。當(dāng)它受到外力作用時(shí)，其電阻值會(huì)隨著電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時(shí)需要附著在彈性元件上，常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局，封裝在殼體內(nèi)。在圓形單晶硅膜片上，插入四個(gè)分布式電阻，兩個(gè)在壓應(yīng)力區(qū)，另兩個(gè)在拉應(yīng)力區(qū)。它們組成了一個(gè)全橋測(cè)量電路。硅膜片固定有圓形硅杯，兩側(cè)有兩個(gè)壓力腔，一個(gè)是與被測(cè)壓力連續(xù)的高壓腔，另一個(gè)是低壓腔，與參考?jí)毫ο噙B，參考?jí)毫νǔＥc壓力大氣相同。當(dāng)有壓差時(shí)，膜片變形，使兩對(duì)電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側(cè)所承受的壓力差。
目前，壓力傳感器是一種典型的汽車傳感器，在汽車上得到了廣泛的應(yīng)用。隨后被廣泛應(yīng)用于高壓場(chǎng)所，如懸浮壓力檢測(cè)、空調(diào)制冷壓力檢測(cè)等?，F(xiàn)在，壓力傳感器進(jìn)一步擴(kuò)展到高壓場(chǎng)所，如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統(tǒng)。可見，壓力傳感器在汽車領(lǐng)域有著廣闊的發(fā)展前景。
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