拉壓力傳感器有哪些不可避免的誤差呢?
時(shí)間: 2021-08-14 09:44:33 瀏覽次數(shù):
在選擇張力傳感器時(shí),需要考慮其綜合精度,并且產(chǎn)品的精度受哪些因素影響?事實(shí)上,導(dǎo)致錯(cuò)誤的因素很多,我們將重點(diǎn)討論一些無(wú)法避免的錯(cuò)誤。這是產(chǎn)品的初始錯(cuò)誤。
首先,偏移誤差:由于拉力壓力傳感器的垂直偏移在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持不變,轉(zhuǎn)換器擴(kuò)散和激光調(diào)整校正的變化將導(dǎo)致偏移誤差。
二是靈敏度誤差:地層誤差的大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度小于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。產(chǎn)生誤差的原因是擴(kuò)散過(guò)程的變化。第三個(gè)是線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對(duì)張力壓力傳感器初始誤差影響不大的因素。產(chǎn)生這種誤差的原因是硅片的物理非線(xiàn)性,但對(duì)于帶有放大器的產(chǎn)品,還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹曲線(xiàn),也可以是凸曲線(xiàn)稱(chēng)重產(chǎn)品。
滯后誤差:在大多數(shù)情況下,由于硅片的高機(jī)械剛度,本產(chǎn)品的滯后誤差可以忽略不計(jì)。滯后誤差通常僅在壓力變化較大的情況下考慮。
張力壓力傳感器存在的幾個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,采用高新技術(shù)來(lái)減少這些誤差,而且在出廠(chǎng)時(shí)還要進(jìn)行誤差校準(zhǔn),盡量減少誤差,以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。